CRF電漿清洗機表面活化是物質歷經離子表面能提高、提高粘合度，粘合力；電漿清洗機表面刻蝕指工件表面利用反應氣體，等離子被選擇性地刻蝕，被刻蝕的材料轉化為氣相且被真空泵排出，處理后的材料微觀比表面積增加并具良好潤濕性；電漿清洗機納米涂層是將反應氣體如:HMDSO，HMDSN，四乙二醇二甲醚，C2F6，利用等離子聚合效應會在表面形成納米涂層，這項技術可以運用到許多領域。

       電漿清洗機表面改性主要是針對于對高分子材料和金屬表面改性。高聚物具有分子可設計性,利用等離子體表面作用可以在表面引入不同的基團來改善其性能,如潤濕性、疏水性、潤濕性、黏結性;引入具有生物活性的分子或生物酶,提高其生物相容性。采用等離子體清洗機技術對聚合物材料表面進行改性,不僅優化了特定環境下高分子材料的適用性能,也拓寬了常規高分子材料的適用范圍。
等離子體表面處理技術能應用到各行各業中，例如，橡塑行業、汽車電子行業、國防行業、醫療行業、航空工業等等。電漿清洗機表面處理技術也具有以下優勢：
1.環保技術：電漿清洗機處理作用過程是氣固相干式反應，不消耗水資源、無須添加化學藥劑
2.效率高：整個工藝能在較短的時間內完成
3.成本低：裝置簡單，容易操作維修，少量氣體取代了昂貴的清洗液，同時也無處理廢液成本
4.處理更精細：能夠深入微細孔眼和凹陷的內部并完成清洗任務
5.適用性廣：電漿清洗機處理技術能夠實現對大多數固態物質的處理，因而使用的行業比較廣泛