等離子體對(duì)油脂污垢的作用，類似于使油脂污垢發(fā)生燃燒反應(yīng)；但不同之處在于在低溫情況下發(fā)生的“燃燒”。在氧氣等離子體中的氧原子自由基，激發(fā)態(tài)的氧氣分子，電子以及紫外線的共同作用下，油脂分子被氧化成水和二氧化碳分子，并從從物體表面被清(除)。可以看出，用等離子體清(除)油污的過(guò)程是一個(gè)使有(機(jī))大分子逐步降解的過(guò)程，形成的是水喝二氧化碳等小分子，這些小分子以氣態(tài)形式被排除。
       等離子體清洗的另一個(gè)特點(diǎn)是在清洗完成之后物體已被徹底干燥。經(jīng)過(guò)等離子體處理的物體表面往往形成許多新的活性基團(tuán)，使物體表面發(fā)生“活(化)”而改變性能，可以大大改善物體表面的浸潤(rùn)性能和黏著性能，這對(duì)許多材料是很重要的。因此等離子清洗具有許多用溶劑進(jìn)行的濕法清洗所無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn)。

       等離子體清洗由真空室，真空泵，高頻電源，電極，氣體導(dǎo)入系統(tǒng)，工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等部分組成。整個(gè)清洗過(guò)程大致如下；被清洗的工件送入真空式并加以固定，啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開(kāi)始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要幾分鐘。
       向真空室內(nèi)引入等離子體清洗用的氣體，并保持腔內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分貝使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)狻⑺姆嫉葰怏w。在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過(guò)輝光放電而發(fā)生等離子化和產(chǎn)生等離子體，讓在真空室產(chǎn)生的等離子體完(全)籠罩住被處理工件，開(kāi)始清洗作業(yè)，一般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾十(分)鐘不等。清洗完畢后切斷電源，并通過(guò)真空泵將氣體和氣化的污垢抽走排出。
       等離子體清洗的另一個(gè)特點(diǎn)是在清洗完成之后物體已被徹底干燥。經(jīng)過(guò)等離子體處理的物體表面往往形成許多新的活性基團(tuán)，使物體表面發(fā)生“活(化)”而改變性能，可以大大改善物體表面的浸潤(rùn)性能和黏著性能，這對(duì)許多材料是很重要的。因此等離子體清洗具有許多用溶劑進(jìn)行的濕法清洗所無(wú)法比擬的優(yōu)點(diǎn)。與濕法清洗相比，等離子體清洗的優(yōu)勢(shì)表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：
       在經(jīng)過(guò)等離子體清洗之后，被清洗物體已經(jīng)很干燥，不必再經(jīng)干燥處理即可送往下道工序。不使用三氯乙烷等有害污染物，屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方式、用無(wú)線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同， 它的方向性不強(qiáng)，因此它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù)，所以不必過(guò)多考慮被清洗物體形狀的影響。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效(果)與用氟利昂清洗的效(果)相似甚致更好。整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)。